Работы. Мемуар - стр. 26

В калибровке Оже-спектрометра я столкнулся с непреодолимыми трудностями. Для изучения линейности или нелинейности зависимости величины низкоэнергетического (92 эВ) Оже-пика кремния от интенсивности пучка электронной пушки, было необходимо в процессе измерений очищать образец от нарастающего на нём под действием электронного пучка слоя углеродных загрязнений. Потому что вакуум в спектрометре был всё-таки не совсем на нужном уровне. Для очистки образца применялась та же аргонная ионная пушка, что для элементного анализа по глубине, только для профиля по глубине нужны большая мощность и время работы. Небольшим количеством аргона, попадающим в камеру через диафрагму пушки вместе с ионным пучком, можно пренебречь – уж он-то на поверхность образца не должен прилипать, являясь инертным газом. Однако, не успел я включить собственно пушку, только напуск аргона в неё открыл, как Оже-пик кремния сильно изменился. Он увеличился и стал шире, то есть, похоже, состоял теперь из двух сходных отчасти перекрывающихся пиков с небольшим сдвигом друг относительно друга по энергетической шкале. Какое-то количество аргона, просачиваясь в вакуумную камеру, попадало и в электронную пушку, и та принялась выстреливать ионы аргона вместе с собственными электронами. Не знаю, как это возможно. Мало того, что ионы должны быть отрицательно заряжены, их пучок, вообще-то, не должен был фокусироваться так же, как электронный. Но другого объяснения лишнему пику я не придумал. Ионы аргона тоже возбуждали Оже-эмиссию. Но с пиком другой формы, во всяком случае, что касалось кремния. Если настоящую ионную пушку я мог включать только время от времени, чтобы почистить образец между измерениями, то этот эффект работы электронной пушки как самозваной ионной устранить было невозможно. Если бы я попытался измерения проводить без аргона в пушке, и после работы пушки ждал откачки аргона, измерения растянулись бы на такое время, что и без электронного пучка поверхность образцов загрязнялась бы. Не говоря о том, что никто не дал бы мне особо много приборного времени на непроизводственную надобность. Аргон, между прочим, довольно медленно откачивается именно вследствие того, что инертный43. Кто же знал, что он будет такой помехой. Ну и – о какой калибровке может идти речь, если она необходимо включает очистку поверхности образца, а попытка сделать эту очистку приводит к сильному искажению результатов? Тот «ионный» Оже-пик кремния был гораздо больше основного, «электронного». Выделить из него «настоящий» пик кремния не представлялось возможным.

Меж тем параллельно постепенно обнаруживалось, что начальство вообще не заинтересовано в том, чтобы кто-то занимался наукой. Даже такой приземлённой, в интересах электронной промышленности.

Кстати, заодно напишу о некоторых своих впечатлениях о начальстве вообще. В теории власть развращает. Как я наблюдал на практике, действительно, чем меньше начальственный уровень человека, тем больше он похож на человека. С руководителем группы мы были на «ты» (он сам предложил), и хотя он мной руководил, это было, скорее, потому, что у него было гораздо больше опыта, чем потому, что его назначили руководить. В лаборатории мы делали всё вместе, при разборке-починке-сборке прибора при его руководстве, но ещё он вёз всякие внешние контакты. Скажем, ходил заказывать отжиг медных прокладок в водороде. Или изготовление держателей образцов по аналогии с имеющимися. Видимо, ему было проще это сделать, чем перекладывать на меня, что потребовало бы объяснений, где это, кто там работает, налаживать контакты… С начальником лаборатории мы были на «вы» и по имени-отчеству, да и вообще редко общались. В основном, он общался с Якоревым, этого ведь для определения задач группы достаточно. Начальника отдела я не видел вообще